(SF6) 项目名称 纯度指标(%) ≥99.999 ≥99.99 杂质含量(ppm) 空气(Air) ≤5 ≤30 水(H2O) ≤1 ≤1 四氟化碳(CF4) ≤4 ≤30 酸度(Acidity) ≤0.1 ≤0.1 可水解氟化物(以HF计) ≤0.1 ≤0.2 矿物油(Mineral Oil) ≤0.5 ≤0.5 包装:采用40L、44L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到2-10L的气瓶中。 用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品; 变压器中的绝缘介质; 金属冶炼中的保护气氛; 断路器、互导传感器、避雷针的灭弧气体 电子级高纯作为一种理想的电子蚀刻气体,广泛应用于微电子技术领域 作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂 作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂 肝脏**的超声造影检查的造影剂也作为的用途 理化性质: (SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性较好的物质之一,其惰性与相似。它具有较好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。具有**的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,其绝缘能力为空气、的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。 注意事项: 密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜**过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。